鹵素檢漏儀是指用含有鹵素(氟、氯、溴、碘)氣體作為示漏氣體的檢漏儀器。該類儀器分兩類：其一為傳感器(即探頭)與被檢件相連接的稱為固定式(也稱內探頭式)鹵素檢漏儀；其二為傳感器(即吸槍)在被檢件外部搜索的稱為便攜式(也稱外探頭式)鹵素檢漏儀。示漏氣體有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂屬Z好。鹵素檢漏儀靈敏度可達3.2×lO-9Pam3／s。
(1)工作原理與結構
金屬鉑在800～900oC溫度下會發生正離子發射，當遇到鹵素氣體時，這種發射會急劇增加。這就是所謂的“鹵素效應”，利用此效應制成了鹵素檢漏儀。
傳感器是個二極管，加熱絲、陰極(外筒)、陽極(內筒)均用鉑材制成。陽極被加熱絲加熱后發射正離子，被陰極接收的離子流由檢流計(或放大器)指示出來，且有音響指示。電氣部分由加熱電源、直流電源、離子流放大器、輸出顯示及便攜式的吸氣裝置電源等組成。
(2)性能測試方法
靈敏度、反應時間及恢復時間是鹵素檢漏儀的主要性能參數。其測試方法與氦質譜檢漏儀的相同，這里不再贅述。但是，鹵素檢漏儀（SF6檢漏儀）的指示與鹵素氣體的濃度有關：一般，低濃度的指示是線性的，中等濃度的是非線性的，而當濃度很高時儀器出現飽和或中毒現象。所以在進行性能測試或檢漏時，進入傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬分之一。固定式鹵素檢漏儀傳感器應和lO-1～10oPa壓力范圍內工作，壓力過高或過低都會導致儀器靈敏度的下降。便攜式鹵素檢漏儀（SF6檢漏儀）的傳感器基本上是在大氣壓下工作的，靠吸氣裝置吸入氣體，使鹵素氣體流經傳感器。
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